KIỂM SOÁT NGUYÊN LIỆU THÔ HÓA CHẤT TRONG NGÀNH SẢN XUẤT BÁN DẪN SEMINCONDUCTOR INSUSTRY

KIỂM SOÁT NGUYÊN LIỆU THÔ SEMINCONDUCTOR INSUSTRY TỪ MÁY CÔ ĐẶC DUNG MÔI DÙNG TRONG SẢN XUẤT CHẤT BÁN DẪN GENEVAC ROCKET. Các hóa chất bao gồm như cô dung môi EIPA , ….

Ghi chú

1. Wafer là một miếng silicon mỏng chừng 30 mil (0.76 mm) được cắt ra từ thanh silicon hình trụ. Thiết bị này được sử dụng với tư cách là vật liệu nền để sản xuất vi mạch tích hợp (người ta “cấy” lên trên đó những vật liệu khác nhau để tạo ra những vi mạch với những đặc tính khác nhau. Vật liệu đó thường là các hợp kim như: GaSb, GaAs, GaP… ). Đa số, các vi mạch hiện nay đều được sản xuất bằng cách cấy wafer khác nhau để tạo ra những vi mạch với những đặc tính khác nhau, phụ thuộc vào môi trường ứng dụng của vi mạch mà lựa chọn các wafer phù hợp
2. Bề mặt của đế sau khi xử lý bề mặt được phủ một hợp chất hữu cơ gọi là chất cản quang (photoresist), có tính chất nhạy quang (tức là tính chất bị thay đổi khi chiếu các bức xạ thích hợp), đồng thời lại bền trong các môi trường kiềm hay axit.

Nguyên liệu HÓA CHẤT cung cấp cho việc sản xuất bán dẫn

• Bao gồm các hóa chất được liệt kê trong bản bên dưới
• Các hóa chất này ở mức độ tinh khiết cực cao ( lên đến 99.9999%). Trong đó Isopropy Alcohol (IPA) có vai trò rất quan trọng.
• Việc chứa tạp chất sẽ ảnh hưởng rất lớn đến kết quả sản xuất chất bán dẫn hay sản xuất chip bán dẫn

Nguyên liệu hóa chất được sử dụng trong sản xuất bán dẫn semiconductor industry

EIPA : electronic grade Iso Propyl Alcohol : 99.9999%

Hệ thống chu trình kép Nền kinh tế tuần hoàn (do LCY CHEMICAL CORP. triển khai)

• Các dung môi này sẽ được kiểm soát và phân tích chất lượng.

Ví dụ như: Nhà sản xuất chip bán dẫn lớn nhất thế giới TSMC (Đài Loan) sử dụng Rocket Genevac + SampleGenie để thực hiện tỷ lệ cô đặc cao của vật liệu hóa học trước khi phân tích bằng hệ thống phân tích bằng MS trong IQC của họ. Các nhà cung cấp hóa chất của TSMC phải cung cấp báo cáo kiểm tra bằng cách tuân theo giao thức QC của TSMC, trong đó Rocket Synergy Genevac là thiết bị bắt buộc phải trang bị sau khi phát hiện sự cố Nanke Wafer 14B trong năm 2019, và đã thập lặp bộ phận kiểm soát này. chi tiết tại đây

Việc kiểm soát chất lượng nguyên liệu hóa chất trong sản xuất chất bán dẫn

THIẾT BỊ chuyên dụng dùng cô đặc dung môi trong phòng QC sản xuất chất bán dẫn Các hóa chất bao gồm như dung môi EIPA , ….

Thiết bị cô mẫu Rocket từ Genevac

Model: Rocket Synergy 2
Hãng sản xuất: ATS  Genevac
Xuất xứ: Anh

Đặc điểm thiết bị:

– Có chức năng làm khô, cô đặc những loại dung môi có nhiệt độ sôi từ 40 đến 160 oC (tại áp suất thường).
– Máy có hai khoang (khoang trong và khoang ngoài), áp suất được điều khiển từ 3 mbar – áp suất không khí.
– Khoang ngoài chứa nước đã khử ion và được gia nhiệt ở 40 oC, 70 mbar.
– Tốc độ ly tâm tối đa: 1760 rpm
– Lực ly tâm tối đa: 700 g
– Số mẫu tối đa: 6 x 450 ml / 5 lít
– Khả năng cô: ≥ 6 bình
– Khả năng cân bằng tối đa: 50 g
– Hệ thống chân không hiển thị áp suất: 0 – 1200 mbar
– Điều khiển áp suất tự động
– Áp suất tối thiểu đạt được: 3 mbar
– Cơ chế bảo vệ chống sôi bùng khi gia nhiệt bằng phương pháp Dri-Pure
– Điều khiển nhiệt độ trong buồng chân không: nhiệt độ môi trường + 7 oC đến 60 oC
– Độ đúng nhiệt độ điều khiển: ≤ ± 1 oC
– Khoảng nhiệt độ hiển thị: 0 – 60 oC
– Kết thúc quá trình chạy: chế độ tự động hoặc cài đặt thời gian.
– Có thể quan sát mẫu bằng đèn chớp qua cửa quan sát vào trong mẫu mà không cần tắt chu trình.

Hệ thống được gia nhiệt bằng hơi nước.

– Bơm chân không gắn sẵn trong máy, sử dụng lọai bơm màng PTFE bốn đầu.
– Chương trình tự động làm khô bình ngưng tụ khi kết thúc quá trình cô mẫu.
– Vận hành đơn giản với 10 chương trình cài sẵn. Có thể thay đổi chương trình theo cập nhật qua cổng USB.
– Hiệu suất thu hồi dung môi rất cao: (~98% với dimethylformamid, ethanol, methanol, nước, nước/acetonitril).
– Trên mỗi vị trí ly tâm đều được đánh số. Trên máy có lỗ quan sát mẫu với đèn chiếu sáng trong buồng, khả năng điều chỉnh đặc biệt cho phép quan sát từng vị trí mẫu như là đứng yên.
– Yêu cầu bẫy lạnh: -15 oC đến + 10 oC
– Năng suất làm trao đổi nhiệt: 700 W tại + 10 oC
– Tốc độ dòng: 1,5 lít/phút đến 2,5 lít/phút
– Có cổng gắn USB chứa các dữ liệu vận hành (phương pháp) theo mẻ

Cung cấp bao gồm:

Máy chính Rocket Synergy 2
Bơm bốn đầu, kháng dung môi (tích hợp máy)
Rotor cho bình flask 6 vị trí, và
Bộ ngưng tụ (tích hợp trên máy chính)
6 nắp đóng vị trí rotor không sử dụng (theo máy chính)
Bình chứa chất thải 5L (theo máy chính)
6 bình flask tiêu chuẩn
GC Vial System 2 (all parts), Viton seals – set of 6
Rocket SampleGenie chi Vial GC
Including – glass flask, vial adapter, cap and collar, Viton seal
Bộ phụ kiện kết nối máy chính với hệ làm lạnh

Hệ làm Lạnh

– Công suất (môi trường Ethanol): ≥ 600W ở 20ºC
– Khoảng nhiệt độ vận hành: -20ºC đến 40ºC
– Độ ổn định nhiệt độ: ≤ ± 0,5ºC
– Độ phân giải nhiệt độ cài đặt: ≤ 0,1ºC
– Lưu lượng bơm: ≥ 23 lít/phút
– Áp suất bơm: ≥ 1 bar
– Thể tích bể làm đầy: ≥ 8,0 lít
– Môi chất lạnh: R404A
– Bộ điều khiển PID

Thông tin Về SP Genevac

• Genevac là nhà sản xuất thiệt bị cô mẫu nhiều vị trí có ly tâm số một thế giới.
• Với nhiều model và các công nghệ tích hợp, Genevac luôn là sự lựa chọn hàng đầu của các công ty, cơ quan lớn trên thế giới.
• Tegent Scientific Việt Nam hân hạnh là đại diện phân phối độc quyền và thực hiện hỗ trợ kĩ thuật các sản phẩm của SP Genevac (ATS) tại Việt Nam.
• Hãy liên hệ trực tiếp đến chúng tôi, để được tư vấn và hỗ trợ tốt và nhanh nhất.
• Tham khảo thêm các sản phẩm của Tegent tại đây.
• Xem thêm về Máy ly tâm chân không Rocket Synergy 2 tại đây.
• Xem thêm về các dòng sản phẩm khác của SP Genevac tại đây.

KIỂM SOÁT NGUYÊN LIỆU THÔ SEMINCONDUCTOR INSUSTRY TỪ MÁY CÔ ĐẶC DUNG MÔI DÙNG TRONG SẢN XUẤT CHẤT BÁN DẪN GENEVAC ROCKET. Các hóa chất bao gồm như cô dung môi EIPA , ….

Hotline Zalo 0987445016